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介绍了离子束辅助沉积技术及其在制备耐磨抗蚀膜层方面的应用，对该技术目前的发展现状及应用前景作了评述。
离子束辅助沉积技术制备耐磨抗蚀膜层的研究进展
【摘 要】
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介绍了离子束辅助沉积技术及其在制备耐磨抗蚀膜层方面的应用，对该技术目前的发展现状及应用前景作了评述。
【机 构】
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西安交通大学材料学院,西安交通大学金属材料强度国家重点实验室
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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1995年6期
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