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来源 :技术监督纵横 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
干涉显微镜是采用光波干涉原理检查工件表面粗糙度的仪器。用一块平面反射镜作参考镜,被测零件表面作测量镜,利用迈克尔逊干涉仪原理,使其产生干涉条纹,由于零件表面的高低
【作 者】
:
韩岩
戚勇达
杜光伟
【机 构】
:
黑龙江省计量检定测试所,黑龙江省计量检定测试所,黑龙江省计量检定测试所,
【出 处】
:
技术监督纵横
【发表日期】
:
1995年02期
【关键词】
:
干涉显微镜
迈克尔逊干涉仪
干涉原理
干涉条纹
粗糙度值
工件表面粗糙度
被测零件
表面磨损
平面反射镜
孔径光栏
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