【摘 要】
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气囊柔性抛光是一种新型的精密光学元件的抛光技术,在非球面制造领域有着广泛的应用。采用柔性气囊抛光装置,选择了三种不同的抛光模层材料进行实验,分析了抛光材料对样片表
【机 构】
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西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,中国重型机械研究院,
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气囊柔性抛光是一种新型的精密光学元件的抛光技术,在非球面制造领域有着广泛的应用。采用柔性气囊抛光装置,选择了三种不同的抛光模层材料进行实验,分析了抛光材料对样片表面粗糙度与表面缺陷的影响。实验研究表明,呢绒是一种高效的非球面元件柔性抛光的模层材料,丝绒材料适用于高质量超光滑元件的抛光。
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