【摘 要】
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本文建立ＩＣ光刻工艺相关缺陷计算模型和基于ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ统计成品率计算模型．阐述了集成电路功能成品率仿真系统ＸＤＹＥＳ实现，讨论了应用ＸＤＹＥＳ实现功能成品率设计，并给出该系统实用性验证．研究分析表明，其
【机 构】
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西安电子科技大学微电子所,浙江大学ＣＡＤ＆ＧＣ实验室
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本文建立ＩＣ光刻工艺相关缺陷计算模型和基于ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ统计成品率计算模型．阐述了集成电路功能成品率仿真系统ＸＤＹＥＳ实现，讨论了应用ＸＤＹＥＳ实现功能成品率设计，并给出该系统实用性验证．研究分析表明，其结果与实际结果符合很好．
In this paper, IC lithography process related defect calculation model and based on MonteCarlo statistical yield calculation model. The implementation of XDYES simulation system for functional yield of integrated circuits is described. The design of functional yield design using XDYES is discussed, and the practical verification of the system is given. Research and analysis show that the results are in good agreement with the actual results.
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