毫微米范围内精密长度测量用的激光系统

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1.前言通过同类激光器的拍频计数与稳频气体激光器(如 He-Ne/I_2激光)进行比较,可确定其频率的不稳定性和可复现性。这种频率测量的不确定度非常小,因此很适用于长度测量,特别是在毫微米范围内进行精密长度测量。这样可以使用频率测量技术检定高分辨率测微仪和其它长度测量仪器。 1. Introduction By comparing the beat frequency of a laser of the same type with a frequency stabilized gas laser such as a He-Ne / I_2 laser, the instability and reproducibility of its frequency can be determined. This frequency measurement has very low uncertainty and is therefore suitable for length measurements, especially for fine length measurements in the nanometer range. This allows the use of frequency measurement techniques to verify high resolution micrometers and other length measuring instruments.
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