【摘 要】
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日本电信电话(株)(NTT)开发出了分辨率极高的能够观察到化合物半导体的结晶表面的“成长过程”的电子显微镜——原子层成长观察显微镜.在世界上首次成功地利用此镜观察到了
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日本电信电话(株)(NTT)开发出了分辨率极高的能够观察到化合物半导体的结晶表面的“成长过程”的电子显微镜——原子层成长观察显微镜.在世界上首次成功地利用此镜观察到了每一个原子层扩张形成薄膜的全过程。
NTT developed an extremely advanced electron microscopy-atomic layer growth observation microscope capable of observing the “growth process” of the crystalline surface of a compound semiconductor. For the first time in the world, this mirror has been successfully used The whole process of forming a thin film by each atomic layer was observed.
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