【摘 要】
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大口径非球面的高精度检测中,补偿元件的质量对检测结果有直接影响.针对大口径抛物面计算全息板(CGH)因其空间频率高,误差控制难度大的问题,通过一个具体的设计,分析了加工过
【机 构】
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四川大学电子信息学院,四川成都610064;四川大学机械工程学院,四川成都610064
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大口径非球面的高精度检测中,补偿元件的质量对检测结果有直接影响.针对大口径抛物面计算全息板(CGH)因其空间频率高,误差控制难度大的问题,通过一个具体的设计,分析了加工过程中定位误差引起的光场畸变.为了减小误差的影响,采用双CGH光路进行非球面检测,具体分析了双补偿器结构非工作级次衍射光的分离情况,以及定位误差带来的光场畸变.结果显示:双CGH结构的最大空间频率远小于单片结构,其定位误差带来的光场畸变的RMSE值是相同条件下单片结构的0.65倍.这表明在补偿检测大口径非球面时,采用双CGH补偿元件,在满足设计要求的同时能很好的抑制其加工误差带来的影响.
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