【摘 要】
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在解决污水处理问题中为了在工艺和设备方面给国营铁路修理工厂中的合作单位以及国民经济其它领域的有关单位提供帮助,机车车辆修理合理化工程师办公室完成了试验研究和设计
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在解决污水处理问题中为了在工艺和设备方面给国营铁路修理工厂中的合作单位以及国民经济其它领域的有关单位提供帮助,机车车辆修理合理化工程师办公室完成了试验研究和设计研制工作。本文详细介绍污水处理的几种方法和经验。
In the process of solving the sewage treatment problems, in order to assist the cooperating units in the state-owned railway repair factories and other units in the national economy in terms of technology and equipment, the office of the rationalization of locomotive and vehicle repair engineers completed the experimental research and design and development work. This article details several methods and experiences in wastewater treatment.
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利用电子回旋共振-等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)技术,以氮气为等离子体气源,硅烷为前驱气体在玻璃衬底上低温沉积了氮化硅薄膜.采用偏振光椭圆率测量仪、原子力显微镜(AFM)测试技术对薄膜的沉积速率、折射率、表面形貌等性质进行了测量。结果表明:采用ECR-PECVD技术能够在较低的温度下以较高的沉积速率(沉积速率达到11nm/min)沉积质量较好的薄膜.制备的薄膜表面质量较高,且粗糙度