【摘 要】
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本文研究的温差电堆的单元对为多晶硅-金属(Au或Al)结构,其中多晶硅经连续波A_r~+激光再结晶处理后,电阻值降低,温差电堆器件的塞贝克系数和响应率得到提高.所制温差电堆最大
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所
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本文研究的温差电堆的单元对为多晶硅-金属(Au或Al)结构,其中多晶硅经连续波A_r~+激光再结晶处理后,电阻值降低,温差电堆器件的塞贝克系数和响应率得到提高.所制温差电堆最大集成达76对.
In this paper, the cell pairs of the thermopile are polycrystalline silicon (Au or Al). The polysilicon is reduced by the A_r ~ + laser recrystallization, and the Seebeck coefficient and response rate of the thermopile are obtained Improve the temperature difference between the maximum stack of 76 pairs.
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