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本文简要地描述了激光共振电离质谱的实验装置和测量方法，给出了用共振电离质谱方法对锌掺杂化合物半导体材料进行分析的光谱和质谱图，并估计了用这种方法进行痕量分析可能达到的检测限。
锌掺杂半导体材料的共振电离质谱分析
【摘 要】
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本文简要地描述了激光共振电离质谱的实验装置和测量方法，给出了用共振电离质谱方法对锌掺杂化合物半导体材料进行分析的光谱和质谱图，并估计了用这种方法进行痕量分析可能达到
【机 构】
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吉林大学物理系,中国科学院长春应用化学研究所
【出 处】
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光谱学与光谱分析
【发表日期】
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1999年01期
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