实现微细加工的基础技术

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实现微细加工的基础技术中国航空信息中心饶勤目前,汽车、电子、航空航天、光学和医疗器械中的许多零件均具有小于1毫米的整体尺寸和微米级的内部结构尺寸,微细加工技术则是制造这类微型零件的唯一手段。有三项基础技术是微细加工能否成功的关键。一、运动控制技术要实... At present, many components in automotive, electronics, aerospace, optical and medical devices have an overall size of less than 1 mm and an internal structure size of micrometers, while micro-fabrication techniques are The only means of making such miniature parts. Three basic technologies are the key to the success of microfabrication. First, the motion control technology to be ...
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