【摘 要】
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镓液态金属离子源广泛应用于聚焦离子束技术 ,本文介绍了一种利用电子轰击的方法制备镓液态金属离子源的工艺和设备 ,测试了源的 I- V发射特性曲线 ,d I/ d V≈ 0 .0 5 ( μA
【机 构】
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镓液态金属离子源广泛应用于聚焦离子束技术 ,本文介绍了一种利用电子轰击的方法制备镓液态金属离子源的工艺和设备 ,测试了源的 I- V发射特性曲线 ,d I/ d V≈ 0 .0 5 ( μA/ V) ,进行了新旧工艺下电流发射稳定度的比较 ,最佳源发射稳定度大于 95 % ,寿命大于 1 0 0 0小时。
Gallium liquid metal ion source is widely used in focused ion beam technology. This paper introduces a process and equipment for preparing gallium liquid metal ion source by using electron bombardment. The I-V emission characteristic curve of the source, d I / d V ≈0. 05 (μA / V). The stability of current emission under the new and old technology is compared. The best source emission stability is more than 95% and the life span is more than 100 hours.
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