【摘 要】
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本文讨论多步法误差分离技术的方法误差和系统误差。按此法由Talyrond3型圆度仪、精密分度转台和IBM-PC 微机组成计算机辅助纳米级圆度测量系统,将圆度仪的测量精度由原来0.0
【机 构】
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清华大学,清华大学,清华大学,清华大学
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本文讨论多步法误差分离技术的方法误差和系统误差。按此法由Talyrond3型圆度仪、精密分度转台和IBM-PC 微机组成计算机辅助纳米级圆度测量系统,将圆度仪的测量精度由原来0.025μm 提高到0.002μm。该项技术的推广应用对我国现有圆度仪的技术改造具有重要意义。
This article discusses the method error and system error of the multi-step error separation technique. According to this method, the Talyrond3 circularity meter, the precision indexing turntable and the IBM-PC computer compose a computer-aided nanometer roundness measurement system, and the measurement accuracy of the roundness meter is increased from 0.025μm to 0.002μm. The popularization and application of this technology is of great significance to the technological transformation of the existing roundness meter in our country.
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