【摘 要】
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一九六四年已发现集成电路外延工艺受晶向影响,并在一九六八年此问题即园满解决.我们在十五年后碰到了同样的问题.据了解,很多搞电路的厂家还没有解决或还没有彻底解决,因而
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一九六四年已发现集成电路外延工艺受晶向影响,并在一九六八年此问题即园满解决.我们在十五年后碰到了同样的问题.据了解,很多搞电路的厂家还没有解决或还没有彻底解决,因而在生产上造成很大的浪费.研究一下定向切割对外延工艺的影响,这在经济上还是很有意义的.
In 1964, it was found that the epitaxial process of integrated circuits was affected by the crystal orientation and this problem was solved satisfactorily in 1968. We met the same problem after 15 years. It is understood that many circuit manufacturers Has not yet been solved or has not yet been completely resolved, resulting in a great waste of production.Research on the impact of directional cutting on the epitaxial process, which is still very significant in the economy.
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