干涉滤光片特性的膜厚修正法

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引言当前,多层膜干涉滤光片的制备已达到相当高的水平。因而,随着彩色电视、电影和照相技术等的发展,这类滤光片获得了广泛的应用,同时对滤光片的性能提出越来越严格的要求。从现有镀膜工艺水平出发,膜系计算与制备工艺密切结合,计算出令人满意的干涉滤光片膜系,并且根据实验曲线分析制备工艺中的厚度控制误差,这是我们感兴趣的问题。多层膜干涉滤光片的设计方 Introduction Currently, the preparation of multilayer interference filters has reached a very high level. Therefore, with the development of color TV, film and photographic technology, such filters have been widely used, meanwhile, more and more stringent requirements are placed on the performance of the filters. Starting from the current coating technology level, the calculation and preparation process of the membrane system are closely combined to calculate a satisfactory interference filter membrane system, and the thickness control error in the preparation process is analyzed according to the experimental curve, which is a problem that we are interested in . Multilayer film interference filter design side
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