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对高功率激光系统中使用的衍射光学元件（DOE）在束匀滑时产生的表面反射光场进行了模拟计算。计算表明，随着传输距离的增大，反射光由于干涉叠加会产生一定数量的光强极值点，有可能会对前端元件造成损伤。因此，在高功率激光系统应用中，有必要对元件进行一定角度的倾斜放置，从而使反射光偏离前端元件。通过模拟计算分析了衍射元件放置时，倾斜角度对各项束匀滑指标的影响，发现匀滑性急剧变差，并在实验上观察到了相应的定性结果。设计了相位补偿方法，以保证倾斜放置下衍射光学元件的束匀滑能力，并给出了相位补偿的数值模拟结果。