高纯度钛

来源 :钛工业进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户：oldehero

【摘要】

：

日本一家公司制成了一种纯度为99.9999%的高纯钛.利用这种高纯度钛可以制造半导体基板上的氮化钛薄膜,使用这种氮化钛薄膜可以避免因硅铜基板上的杂质 A company in Japan m

【作者】

：

李玲玲

【出处】

：

钛工业进展

【发表日期】

：

1994年05期

【关键词】

：

氮化钛薄膜基板纯钛高精密度

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日本一家公司制成了一种纯度为99.9999%的高纯钛.利用这种高纯度钛可以制造半导体基板上的氮化钛薄膜,使用这种氮化钛薄膜可以避免因硅铜基板上的杂质 A company in Japan made a pure titanium with a purity of 99.9999% .This high-purity titanium can be used to manufacture titanium nitride films on semiconductor substrates. With this titanium nitride film,

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