【摘 要】
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本文通过俄歇电子谱(AES)、二次离子质谱(SIMS)和电子诱导脱附离子质谱(ESDMS)的测量与分析,论证了电子诱导脱附的质荷比M/e=19的正离子是F~+而不是H_3O~+。实测表明在某些情
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本文通过俄歇电子谱(AES)、二次离子质谱(SIMS)和电子诱导脱附离子质谱(ESDMS)的测量与分析,论证了电子诱导脱附的质荷比M/e=19的正离子是F~+而不是H_3O~+。实测表明在某些情况下ESD法检测氟(F)的灵敏度比AES高10~3,与SIMS法相当。由于使用电子束作探针,其空间分辨率高,对表面损伤小。因此,预期它在检测表面氟或氟化物的污染方面可成为一个极有用的方法。
In this paper, the electron-induced desorption mass-to-charge ratio M / e = 19 positive ions were demonstrated by the measurement and analysis of AES, SIMS and ESDMS. Is F ~ + instead of H_3O ~ +. The measured results show that in some cases, the sensitivity of ESD method to detect fluorine (F) is 10-3 higher than that of AES, which is equivalent to SIMS method. The use of electron beam as a probe, its high spatial resolution, small damage to the surface. Therefore, it is expected to be an extremely useful method for detecting contamination of surface fluorine or fluoride.
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