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SiO2/Ta界面反应及其对铜扩散的影响
SiO2/Ta界面反应及其对铜扩散的影响
来源 :城市道桥与防洪 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wjdy110
【摘 要】
:
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
【作 者】
:
龙世兵
马纪东
于广华
赵洪辰
朱逢吾
张国海
夏洋
【机 构】
:
北京科技大学材料物理系,北京,100083中国科学院微电子中心,北京,100029;
【出 处】
:
城市道桥与防洪
【发表日期】
:
2002年10期
【关键词】
:
ULSI铜互连
扩散阻挡层
界面反应
X射线光电子能谱
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该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥主桥连续预应力混凝土变截面箱梁2#~7#块、8#、8
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