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为准确测量聚酰亚胺薄膜的热导率,建立了一套基于3ω法的测试系统,系统由锁相放大器、信号发生器、运算放大器等部分组成.采用掩膜版方法制备金属电极,测得PI膜的热导率为0.212 W/(m· K),测试结果与文献结果一致,证明了测试方法的可靠性.考察了不同电流条件下三倍频电压随电流频率变化规律,PI膜的热导率随温度变化的特性,在不同温度下测得的热导率值与文献结果一致.