【摘 要】
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本文对高精度孔径测量中超精瞄准定位系统的微位移技术及其控制方法进行了研究，在采用闭环控制和双频激光干涉仪检测的情况下可达００３μｍ的瞄准定位精度。
In this paper, the m
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本文对高精度孔径测量中超精瞄准定位系统的微位移技术及其控制方法进行了研究，在采用闭环控制和双频激光干涉仪检测的情况下可达００３μｍ的瞄准定位精度。
In this paper, the microdisplacement technology and its control method of hyper precision aiming positioning system in high precision aperture measurement are studied. The accuracy of aiming positioning of up to 003 μm can be achieved with closed-loop control and dual-frequency laser interferometer detection.
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