【摘 要】
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松下技研在１９８７年受ＮＥＤＯ的委托，作为通商工业部工业技术院设计“超尖端加工系统”的一部分，推出了能承受大功率（２ｋｗ）、高重复率（１ｋＨｚ）准分子激光辐射的反射镜和窗口等光学部件用涂敷技术。反射镜用
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松下技研在１９８７年受ＮＥＤＯ的委托，作为通商工业部工业技术院设计“超尖端加工系统”的一部分，推出了能承受大功率（２ｋｗ）、高重复率（１ｋＨｚ）准分子激光辐射的反射镜和窗口等光学部件用涂敷技术。反射镜用高反射膜涂敷技术是对超平滑研磨的ＳｉＣ基底，利用磁控
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