【摘 要】
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四二○厂以工程师隆礼湘同志为主的攻关小组,继一九八○年突破0.1微米微位移技术以来,刻苦钻研,再接再励,于一九八一年八月又成功地研制出0.05微米级的微位移装置。经鉴定,
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四二○厂以工程师隆礼湘同志为主的攻关小组,继一九八○年突破0.1微米微位移技术以来,刻苦钻研,再接再励,于一九八一年八月又成功地研制出0.05微米级的微位移装置。经鉴定,最大偏差值为±0.02微米。该装置结构精巧,操作方便,造价低廉,体积只有拳头大小,重复定位精度特高,在全
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