【摘 要】
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放肩前形成一个完全无位错的晶核，等径生长过程使固－液界面平坦是硅无位错晶体生长保持过程中的关键问题。据此讨论分析了Ф４英寸＜１１１＞硅单晶中易出现的放肩“断棱”、等径过程中“掉
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放肩前形成一个完全无位错的晶核，等径生长过程使固－液界面平坦是硅无位错晶体生长保持过程中的关键问题。据此讨论分析了Ф４英寸＜１１１＞硅单晶中易出现的放肩“断棱”、等径过程中“掉苞”问题。
Putting a completely dislocated nucleus in front of the shoulders, the equiaxed growth process makes the solid-liquid interface flat is a key issue in the process of maintaining the dislocation-free growth of silicon. Based on the analysis, the problem of “falling buds” in the Ф4 "<111> silicon single crystal is discussed.
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