【摘 要】
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本文叙述一种应用大面积、高精度光栅定位的工作台系统。光栅为600条/mm闪耀细光栅,刻划面积140×120mm,工作台行程100×100mm。应用偏振光分相系统,接收二级或一级衍射光谱,
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本文叙述一种应用大面积、高精度光栅定位的工作台系统。光栅为600条/mm闪耀细光栅,刻划面积140×120mm,工作台行程100×100mm。应用偏振光分相系统,接收二级或一级衍射光谱,经电子四倍频后,即可得到约0.1微米或0.2微米的脉冲当量。由于应用大面积光栅,可得到极高的座标测量精度,适用于大规模集成电路工艺设备中高精度工作台定位系统。
This article describes a large area, high precision grating positioning table system. Grating 600 / mm shining fine grating, marking area 140 × 120mm, table travel 100 × 100mm. Application of polarized light phase separation system, receiving two or first-order diffraction spectrum, the electronic quadruple frequency, you can get about 0.1 micron or 0.2 micron pulse equivalent. Due to the application of a large area grating, you can get extremely high coordinate measurement accuracy, suitable for large-scale integrated circuit technology equipment, high-precision table positioning system.
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