【摘 要】
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工业界正致力于寻找最具成本优势的堆叠、键合以及集成方法。在过去的20年间,3-D(三维)集成的概念在半导体工业界获得很大关注(图1)。根据成本和基础设施
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工业界正致力于寻找最具成本优势的堆叠、键合以及集成方法。在过去的20年间,3-D(三维)集成的概念在半导体工业界获得很大关注(图1)。根据成本和基础设施
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