【摘 要】
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鼓轮是引进的硅片切割机主轴上的一个主要部件,鼓轮与后座套紧固成一体,靠后座套的锥孔与主轴连接。切剖硅片的刀具安装在鼓轮上,工作时刀片以6000r/min的高速切割硅片。鼓
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鼓轮是引进的硅片切割机主轴上的一个主要部件,鼓轮与后座套紧固成一体,靠后座套的锥孔与主轴连接。切剖硅片的刀具安装在鼓轮上,工作时刀片以6000r/min的高速切割硅片。鼓轮的技术要求如下
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