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本文报导用离子束刻蚀反射栅色散延迟线栅条以及深度加权技术.
This paper reports the ion beam etching of dispersive delay line grating and depth weighting technique.
离子束刻蚀反射栅色散延迟线栅条
【摘 要】
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本文报导用离子束刻蚀反射栅色散延迟线栅条以及深度加权技术.
This paper reports the ion beam etching of dispersive delay line grating and depth weighting techniqu
【机 构】
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四川压电与声光技术研究所,四川压电与声光技术研究所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
：
2004年期
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