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来源 :实验技术与管理 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
浙江大学高纯硅及硅烷实验室,始建于1959年,1985年被国家教委批准为重点实验室,1987年11月通过国家级验收。实验室由阙端麟教授为主要学术带头人,姚鸿年教授任实验室主任。
【作 者】
:
朱永飞
【机 构】
:
浙江大学,
【出 处】
:
实验技术与管理
【发表日期】
:
1988年01期
【关键词】
:
高纯硅
硅单晶
应用开发研究
沉积膜
国家重点实验室
姚鸿
学术带头人
光电子能谱
测量设备
扩展电阻
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