【摘 要】
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电容式传感器具有结构简单、灵敏度高，动态特性好、对辐射和强烈振动等恶劣条件适应性强、价格便宜等一系列优点。但是，电容式传感器生产时电容引线困难、输出信号受干扰和温度
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电容式传感器具有结构简单、灵敏度高，动态特性好、对辐射和强烈振动等恶劣条件适应性强、价格便宜等一系列优点。但是，电容式传感器生产时电容引线困难、输出信号受干扰和温度影响较大、输出特性存在非线性等问题制约了电容式传感器的生产及应用。 本课题中研制了一种新型微机械加工传感器，解决了引线封装问题；设计了一种信号调理电路，解决了微小电容变化量的精密检测和信号放大问题；同时用单片机实现了输出信号的温度和非线性的软件补偿。
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