InP基1.5μm波段晶体管激光器的研究

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随着光纤通信的快速发展,激光器作为通信光源以及光信号处理的关键器件,需要更灵活,更多样的功能。本论文工作研究了一种新型的光电器件—晶体管激光器。该器件通过在晶体管的基区附近引入多量子阱材料,同时具有激光器的光发射功能及晶体管的电放大功能,方便了光电集成芯片的制作。晶体管激光器因为其独特的结构而具有很多优异的特性,据文献报道,具有较大的直接调制带宽、较高的数据率带宽比以及可以实现电压调制等,因而具有广泛的潜在应用前景。相比于已经具有较好性能的GaAs基短波长晶体管激光器,虽然InP基晶体管激光器更适用于光纤通信应用,但其发展明显滞后。本论文工作主要针对1.5μm波段的InP基晶体管激光器,开展的主要研究内容如下:  1.在国际上首次研制出可在20℃下连续工作的InP基1.5μm波段晶体管激光器。在共发射极模式下,器件基极阈值电流为110mA,发光功率大于0.6mW。在10℃时,基极阈值电流为80mA,发光功率大于2mW;在基极电流为100mA时,共发射极电流增益达到3.5,远大于同类器件的电流增益。  2.设计和研制InP基DFB晶体管激光器。首次研制出可在-50℃下连续电流工作的1.55μm InP基DFB晶体管激光器,阈值电流为50mA,边模抑制比达到20dB以上;室温下,所研制的DFB器件可实现脉冲电流工作,阈值电流为200mA。  3.利用数值计算方法研究了量子阱n型掺杂对晶体管激光器的影响。计算表明,在量子阱中引入n型掺杂,晶体管激光器的斜率效率变低时电流增益能提高,即可以利用量子阱n型掺杂来调节晶体管激光器的光电性能。在考虑表面非辐射复合效应后,n型掺杂可以同时减小激射阈值电流,增大电流增益,极大地提升器件的整体性能。其原因是,n型掺杂减小载流子的横向扩散电流,从而有效减小量子阱侧壁缺陷对载流子的消耗。  4.利用数值计算方法研究了一种有电流限制通道的晶体管激光器。和深脊结构的晶体管激光器进行对比,在晶体管激光器的发射极脊波导中引入pn结反型层形成电流限制通道后,可有效减小脊侧壁非辐射复合中心的影响。计算表明,反型层宽度和电流限制通道宽度均为2微米时,器件的性能最优。同时,用作反型pn结的InP层可以用作刻蚀阻挡层,有效控制脊波导的刻蚀。使用该方案有望实现更高性能的InP基晶体管激光器。
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