本论文主要工作分为两个方面：1、制备了二大系列有机膦稳定的金属有机铜（I）、银（I）配合物，对得到的配合物分别用IR、1H NMR、13C{H} NMR、元素分析以及X-射线单晶衍射等方法进行了表征；2、以Fe(CO)5为原料通过多步反应最终得到用于制备β-FeSi2的前驱体—(SiCl3)2Fe(CO)4，并对其纯化方法进行了研究，最终的前驱体用ICP－MS进行了纯度检测。 本论文主要工作包括以下几方面工作： 一、有机磷稳定的甲磺酸铜(I)配合物的合成和表征 以甲磺酸银、氯化亚铜、有机膦[PPh3/P(Oet)3]为原料，用Schlenk无水无氧技术合成一系列Cu(I)配合物[LnCuO3SCH3] (L = Ph3P, n = 1, 2a; n = 2, 2b; n = 3, 2c; L = (EtO)3P; n = 1, 2d; n = 2, 2e; n = 3, 2f)，所得的配合物用元素分析、红外（IR）和核磁共振（1H NMR，13C{H} NMR）进行了表征。该化合物可作为制备Cu薄膜的前驱体。 二、有机磷稳定的甲磺酸银(I)配合物的合成和表征 以甲磺银和有机膦[PPh3/P(Oet)3]为原料，用Schlenk无水无氧技术合成一系Ag(I)配合物[LnAgO3SCH3] (L = Ph3P, n = 1, 3a; n = 2, 3b; n = 3, 3c; L = (EtO)3P; n = 1, 3d; n = 2, 3e; n = 3, 3f)，对产物分别用元素分析、红外（IR）和核磁共振（1H NMR，13C{H} NMR）进行了表征。另外，对配合物3a和3b用X-射线单晶衍射进行了晶体结构解析。晶体结构分析表明配合物3a是一个立方烷结构的四聚体，而3b是以单体的状态存在的。该化合物可作为制备Ag薄膜的前驱体。 三、含硅/铁单一源的合成和纯化 以Fe(CO)5为原料，在氮气流的保护下，经过一系列的反应先合成Fe3(CO)12再与HSiCl3在高温、高压下反应生成(SiCl3)2Fe(CO)4。分别用红外（IR）和X-单晶衍射对产物进行了表征；X-单晶衍射结构分析表明配合物分子是以金属原子铁为中心的中心对称结构。每个分子中包含一个Fe原子，四个羰基和两个-SiCl3基团，说明配合物中Fe原子与Si原子的比例为1：2。对化合物的纯化方法进行了探索。最终产物用ICP-MS进行了纯度分析。ICP结果显示产物的纯度达到99.976％。该化合物是制备β-FeSi2非常好的前驱体。