【摘 要】
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该文以首台国产0.1μm尘埃粒子计数器光学传感器研制为中心,重点分析了凹面反射镜点光源大立体角反射成像的弥散性,给出了相应的计算公式;对常用的旋转抛物面、椭球面反射镜
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该文以首台国产0.1μm尘埃粒子计数器光学传感器研制为中心,重点分析了凹面反射镜点光源大立体角反射成像的弥散性,给出了相应的计算公式;对常用的旋转抛物面、椭球面反射镜以及球面反射镜大立体角光源反射成像弥散的线度进行了比较,确立了球面反射镜的最优地位;分析了激光的特点,提出两种新的传感器光敏区照明光强度均匀化的方案;在大量实验的基础上确定了光学传感器主要光噪声来源,设计了高效率消除本底噪声的光阑系统;独立完成了中国首台国产0.1μm尘埃粒子计数器光学传感器的设计、组装、调试;并对该计数器输出信号进行了系统的测试分析,对近期内提高中国尘埃粒子计数器的综合性能进行了充分的论证.
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