随着周围环境的不断恶化,人们对清洁能源尤其是太阳能的需求逐渐增加,太阳电池发电是一种环境友好的清洁能源来源。作为薄膜太阳电池中具有潜力的柔性铜铟镓硒（Cu（In,Ga）Se₂,CIGS）太阳电池,在过去二十年来引起了科学家的关注。以聚酰亚胺为衬底的柔性CIGS太阳电池具备质量比功率高、可弯曲、轻质的特点,目前成为CIGS太阳电池研究的热点。但聚酰亚胺不耐高温,电池制备难度大。研究表明在CIGS中掺入合适的钠,会改善CIGS的电学性质,而聚酰亚胺本身不含有钠元素,需要对CIGS吸收层进行掺钠。钠的作用大小与掺钠方式有很大的关系,本文提出低温三步法制备CIGS吸收层,并着重研究了两种不同的掺钠方式,即后掺钠和共蒸发过程中掺钠。通过低温三步法制备CIGS吸收层,第一种方法是后掺钠工艺,研究了Se气氛、退火以及退火温度对CIGS的影响。结果表明:无Se气氛下退火,不会改变已经形成的CIGS薄膜的结晶质量,但是由于退火过程中Se会流失,退火必须在Se气氛下进行,退火为钠元素扩散进CIGS体内需要提供能量,退火温度必须合适,过低过高都会对电学性质产生影响。第二种方法是共蒸发过程中掺钠工艺,分别在三步法的不同阶段掺钠,研究表明,在第一二步,钠阻碍元素之间扩散,降低结晶质量,钠钝化缺陷,提高载流子浓度,因此无论哪个阶段掺钠都改善薄膜的电学性质。后掺钠工艺和第三步缓慢掺钠工艺都不改变薄膜的结晶质量,但可以改善薄膜电学特性,而第三步缓慢掺钠工艺同时可以优化薄膜表面,并且没有退火工艺,工艺相对简单,因此大规模产业化生产时,建议采用第三步中后期缓慢掺钠工艺。