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微电子加工等超精密制造领域正朝着极小型、极精密型方向发展,要求一种超洁净的高速精密定位平台。磁浮平台综合运用了电磁悬浮技术与直线驱动技术,具有零摩擦、零传动环节等显著特点。本文以磁悬浮系统为研究对象,设计一种平面型磁浮运动平台及电磁铁参数,主要进行系统的悬浮控制研究。具体的研究内容如下：1.对磁浮平台进行电磁场与温度场特性分析。通过研究磁力线走向与电磁力特性关系,确定电磁铁的磁极布局方式,找到了平台控制中的薄弱环节；热分析结果表明电磁铁参数设计合理。2.对磁悬浮系统进行分散控