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随着科技日新月异的发展,对降低器件的功耗,减小器件体积和提高器件集成度的呼声也越来越高。正是在这样的背景下,硅片减薄技术发展越来越来快,带来超薄硅片的应用也越来越广泛,其中一个应用就是用于提高由于大气湍流带来光学成像质量下降。目前对光学成像设备的分辨率及图像质量的要求越来越高,尤其是高分辨率长焦距的空间侦查相机研究在各国的军事领域中备受重视。而在这一切的研究中,自适应光学成像技术始终扮演着重要的角色。自适应光学成像技术是指在计算机实时控制下,通过改变主透镜表面的曲率来补偿大气变化及温度变化所引起的成