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PZT薄膜因其优良的介电、铁电、热释电等性能,广泛的应用于微电子学、光电子学、集成光学和微电子机械系统等领域。然而现有的PZT薄膜制备方法与MEMS器件制造工艺不能完全兼容,在集成PZT薄膜的设计过程中存在着很大的约束。电喷打印技术相比于其他现有的材料沉积技术具有清洁、低成本、更容易获得等优点,可实现高分辨率制备图案化PZT薄膜。另一方面,在微纳米纤维结构的制造技术中,与传统静电纺丝技术相比,近场电纺丝能对纤维沉积位置的准确控制,可实现大面积“直写”P(VDF-TrFE)纤维。纺丝纤维直径可从数十纳