Ag/TiO₂复合膜因具有良好的光谱选择性而广泛应用于建筑、汽车、家电等领域。但是,在高温环境下Ag元素易发生氧化和团聚等现象,从而导致复合膜性能降低。本文采用磁控溅射技术,制备了掺杂Ti的Ag/TiO₂复合膜,利用可见分光光度计、SEM、AFM、XRD、能谱仪和隔热实验装置等对复合膜的性能进行了检测和表征,系统研究Ti掺杂量、热处理温度对复合膜的微观结构与应用性能的影响。1、研究了掺杂Ti元素对Ag/TiO₂复合膜微观结构、透光隔热性能的影响。结果表明:随着Ti元素的掺杂量由1.6 at%增大到16.2 at%,Ag-Ti/TiO₂复合膜的表面质量逐渐上升并趋于稳定,复合膜中银的结晶质量和透光隔热性能均呈现先上升后下降的变化趋势。其中Ti掺杂量为3.0 at%时,复合膜表面的平整度和组织致密性最好,Ag（111）衍射峰最强,银的结晶质量最好,可见光平均透过率达最大值78.6%,隔热温差达到最大值5.5℃。2、研究了热处理温度对Ag/TiO₂复合膜的微观结构、透光隔热性能的影响。结果表明:随着热处理温度由25℃上升到500℃,复合膜的表面展现颗粒大小由大变小再变大、组织致密性先提高后下降的变化特征,微观结构表现为Ag（111）晶面衍射峰强度先增强后减弱、Ag（200）晶面衍射峰强度逐渐增强的变化趋势,而透光隔热性能则呈现可见光平均透过率先上升后下降再上升、隔热温差先增大后减小的变化规律。其中热处理温度为200℃时,复合膜的的表面质量最好、透光隔热性能最高（透光率和隔热温差分别达最大值64.2%和5.6℃）;热处理温度为500℃时,复合膜膜层被破坏,失去光谱选择性。3、研究了热处理温度对掺杂3.0 at%Ti元素的Ag/TiO₂复合膜微观结构、透光隔热性能的影响。结果表明:随着热处理温度由25℃上升到650℃,Ag-Ti（3.0at%）/TiO₂复合膜的Ag（111）和Ag（200）晶面衍射峰逐渐增强,表面质量和隔热性能表现为先上升后下降的变化趋势。其中热处理温度为400℃时,复合膜表面质量最高,透光隔热性能最好（可见光平均透过率和隔热温差分别达到最大值73.6%和6.5℃）;而热处理温度为650℃时,膜层表面出现银团聚、大面积空孔和膜层脱落现象,其光谱选择性降低。