基于MEMS技术的低阈值电压静电型微继电器的设计与研究

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【摘要】

：

静电型微继电器的阈值电压是衡量其性能的一个重要指标,是静电型微继电器实用化的关键。迄今为止,还没有其阈值电压能与普通的电子电路工作电压(5V)相兼容的静电型微继电器的报道。静电型微继电器从驱动方式上分为横向驱动和纵向驱动,目前对纵向驱动方式研究的比较多,而对横向驱动方式研究的相对较少。本文在阐述了当前国内外典型的静电型微继电器结构及其性能参数的基础上,提出了一种基于MEMS技术的表面工艺加工的梳齿

【作者】

：

李洋

【机构】

：

合肥工业大学

【发表日期】

：

2009年02期

【关键词】

：

微机电系统静电型微继电器阈值电压梯形梳齿结构

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