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六硼化镧(LaB_6)组合了优异场发射阴极材料所需要的特性,是一种理想的场发射阴极候选材料,在透射电子显微镜、高频电子设备、传感器以及显示器等方面具有广阔的应用前景。场发射纳米结构阵列是一种优异场发射阴极结构,然而,目前对于制备LaB_6纳米结构阵列存在困难。本文在阳极氧化铝模板上,通过磁控溅射LaB_6制备纳米结构阵列。系统研究了阳极氧化铝模板形貌对辅助制备的纳米结构阵列形貌和场发射性能的影响,进一步研究离子束处理对纳米结构阵列形貌和场发射性能的影响。主要研究结果如下:用阳极氧化法制备了三类特征的