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【摘 要】
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电容位移传感器精度高、稳定性好,为各种精密机械的加工过程提供位移量的实时监测,可以实现纳米量级上的超精密测量.但是,测量过程对温度、湿度等环境参量稳定性要求很高,仪
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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哈尔滨工业大学
【发表日期】
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2004年期
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