激光干涉测振与振动自动补偿技术的研究

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该文根据环境振动对干涉测量的影响和现有振动补偿技术的特点以及存在的问题,指出了研究进一步测振与振动自动补偿技术的必要性和可行性.该文对干涉测振与振动补偿技术中的光调制技术进行了较为全面的分析和比较,并优选了声光光强调制法,以获得高的信噪比,提高振动测量的精度.采用偏振分光技术将振动探测-补偿光路和移相测量光路分开,使振动探测与补偿光路在工作时不会降低移相测量光路中干涉条纹的对比度.
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