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工业环境中对可燃或有毒气体泄漏的有效检测可以防止发生爆炸、火灾、中毒等事故,从而保障安全生产。因此,实时监测有毒有害气体十分重要。目前,气体传感器多采用电压、电流和电导率等电信号作为检测手段,此类传感器或存在选择性差,灵敏度低等不足,或受温度和湿度等一些因素的影响限制。本论文以气体放电过程中产生的光信号为检测信号,构建了一个微型化的便携的气体放电发射光源装置,为分析物的检测提供一种新的测定手段。建立了一套直流放电产生氮气等离子体装置,该装置以碳纳米管修饰ITO电极为阳极,铝平板为阴极,两极间距~80