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【摘 要】
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随着倒装封装器件向微小化、高密度化、标准化和模组化的方向发展,这对晶圆级倒装装备运动平台的动态响应、稳定性和定位精度提出了更高的要求。高速高精度的精密运动平台具
【机 构】
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广东工业大学
【出 处】
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广东工业大学
【发表日期】
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2018年01期
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