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光学干涉测量具有非接触,高精度和高灵敏度的特点,目前已广泛应用于高密度信息存储,半导体制造,光通信,微电子机械系统以及精密机械制造等领域中.该论文主要研究了自泵浦相位共轭与移相干涉测量技术相结合实现纳米精度物体表面形貌测量的理论和实验,包括移相算法、相位共轭干涉仪、相位展开和半导体激光相位共轭特性等方面的研究和应用.