【摘 要】
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该论文从理论上分析了其中存在的问题和缺陷,提出了具体的解决方法,并从理论和实验上验证了这些方法的可行性和实用性.针对注入电流调制半导体激光器(LD)波长时光强度被调制
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该论文从理论上分析了其中存在的问题和缺陷,提出了具体的解决方法,并从理论和实验上验证了这些方法的可行性和实用性.针对注入电流调制半导体激光器(LD)波长时光强度被调制会导致误差,提出了光热波长正弦相位调制干涉仪,大大降低了LD强度调制带来的测量误差;针对用作干涉仪光源的LD波长随温度和电流漂移、干涉仪光学元件振动以及两干涉臂空气扰动产生相位误差,提出了抗干扰测量方法,有效降低了该误差;针对传统正弦相位调制干涉仪测量范围仅有半个波长的缺点,提出了一种新的相位展开方法,可将测量范围扩大上万倍;针对微小物体运动测量的要求,提出并构建了全光纤正弦相位调制半导体激光干涉仪,实现了对微泵等微小物体运动的纳米精度测量;另外,我们提出了纳米精度双波长实时干涉仪,使静态位移测量可以在亚毫米的范围内纳米精度地实时实现.
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