【摘 要】
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该论文对MEMS(Microelectromechanical Systems)系统设计的结点化模型进行了研究,建立了梁、集总弹簧,集总质量、平板质量、气隙、梳齿驱动和锚点等基本单元模型.选取位移(包
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该论文对MEMS(Microelectromechanical Systems)系统设计的结点化模型进行了研究,建立了梁、集总弹簧,集总质量、平板质量、气隙、梳齿驱动和锚点等基本单元模型.选取位移(包括转角)作为模型端口的横越量(across quantity),力(包括力矩)作为流通量(through quantity),用标准化VHDL-AMS语言实现了这些模型.讨论了单位制对模型仿真性能的影响.在ZeniVDE平台下利用该论文建立的模型对L型弹簧,带V型弹簧的谐振器,RF开关,加速度计系统进行了分析.仿真内容包括静态仿真,时域仿真,频域仿真.
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