该论文提出了使用机器检查规进行坐标机几何误差识别与测量的两种方法-模式识别法和最小二乘法.该文提出了精密标定Renishaw检查规转臂长度的方法-激光干涉仪法.使用经过标定的Renishaw检查规得到测量机在所选定的检测位置处的空间误差后,可以分解出测量机的各项原始误差,并按它对测量机进行误差补偿,这就增强了检查规的功能,扩展了其应用范围.采用Renishaw检查规检测三坐标测量机误差时,测量机误差可以表达为以转角为自变量2π为周期的连续周期函数.这样,可以以坐标轴夹角为自变量,统一坐标测量机的误差表达式,从而方便对坐标机的几何误差求解.该文对用模式识别的方法识别三坐标测量机原始误差进行了理论探讨,分析了三坐标测量机几何误差对测量误差的影响,推导出了各种几何误差源对误差圆作用的数学模型和几何误差圆的空域模式.该文对用最小二乘法分解21项几何误差进行了的研究,应用计算机仿真技术对测量方案进行了精度分析.理论分析和实验表明,该文提出的用机器检查规法检测三坐标测量机几何误差的方法装置简单、调整方便、成本低、测量速度快、自动化程度高,加上该文开发的误差分离软件后,可分解出测量机的21项误差,为误差补偿提供基础,具有重要的实际应用价值.