钙钛矿氧化物薄膜和超晶格的激光分子束外延生长与斜入射光反射差法实时原位探测

来源 :中国科学院物理研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hnbc2008

【摘要】

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该论文分为两部分:1)探索激光分子束外延(Laser MBE)技术的生长工艺,并制备原子尺度控制的BaTiO(BTO)和SrTiO(STO)薄膜,BTO/STO超晶格,以及掺铌STO等十多种钙钛矿氧化物薄膜,

【作者】

：

陈凡

【机构】

：

中国科学院物理研究所

【出处】

：

中国科学院物理研究所

【发表日期】

：

2001年期

【关键词】

：

激光分子束外延原位实时监控钙钛矿氧化物薄膜层状外延生长光反射差法光学各向异性表面扩散氧化还原反应晶格结构

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该论文分为两部分:1)探索激光分子束外延(Laser MBE)技术的生长工艺,并制备原子尺度控制的BaTiO<,3>(BTO)和SrTiO<,3>(STO)薄膜,BTO/STO超晶格,以及掺铌STO等十多种钙钛矿氧化物薄膜,以及全氧化物异质结;2)使用斜入射光反射差法(OIRD)对外延生长过程进行原位实时监测.

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