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该文首先简单介绍了化学气相沉积金刚石薄膜研究的历史与现状以及基本原理,然后着重描述了作者用热丝法在金刚石晶形显露规律、形核和异质外延方面取得的重大进展.
异质基低上化学气相沉积金刚石形核与生长的研究
【摘 要】
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该文首先简单介绍了化学气相沉积金刚石薄膜研究的历史与现状以及基本原理,然后着重描述了作者用热丝法在金刚石晶形显露规律、形核和异质外延方面取得的重大进展.
【机 构】
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中国科学院物理研究所
【出 处】
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中国科学院物理研究所
【发表日期】
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1995年期
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